发明名称
摘要
申请公布号 JP2671916(B2) 申请公布日期 1997.11.05
申请号 JP19880120836 申请日期 1988.05.18
申请人 发明人
分类号 C23C14/22;C01B13/14;C01G1/00;C04B41/80;C23C14/58;H01B12/00;H01B13/00;H01L21/3205;H01L23/52;H01L39/24;(IPC1-7):H01L39/24;H01L21/320 主分类号 C23C14/22
代理机构 代理人
主权项
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