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发明名称
摘要
申请公布号
JP2672180(B2)
申请公布日期
1997.11.05
申请号
JP19900135109
申请日期
1990.05.23
申请人
发明人
分类号
H01L21/20;H01L21/338;H01L29/778;H01L29/812;(IPC1-7):H01L29/778
主分类号
H01L21/20
代理机构
代理人
主权项
地址
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