,申请号JP19940337876-传众专利搜索

发明名称
摘要
申请公布号	JP2671848(B2)	申请公布日期	1997.11.05
申请号	JP19940337876	申请日期	1994.12.27
申请人		发明人
分类号	C30B29/48;H01L21/203;H01L21/363;(IPC1-7):H01L21/363	主分类号	C30B29/48
代理机构		代理人
主权项
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