具有一平的反光表面的薄膜致动反射镜的制造方法

摘要

一种薄膜致动反射镜阵列的制造方法包括有以下步骤：提供一有源矩阵；在有源矩阵的顶上形成多个具有被平整的顶表面的绝缘层，在该多个绝缘层的顶表面上形成具有一空腔阵列的薄膜待除层；在该薄膜待除层的顶上形成一致动机构阵列，各致动机构包括一第一薄膜电极、一薄膜电致位移元件，一第二薄膜电极、一弹性元件及一导管；并去除该薄膜待除层，从而形成该薄膜致动反射镜阵列。提高了该阵列的整体光效率及性能。

主权项

1、一种用于光学投影系统中的薄膜致动反射镜阵列的制造方法，该方法包括以下步骤：提供一有源矩阵；在该有源矩阵的顶上淀积一钝化层，其中该钝化层有一顶表面；平整该钝化层的顶表面；在该钝化层的被平整的顶表面上淀积一腐蚀剂阻止层；在该钝化层的顶上形成一具有一空腔阵列的薄膜待除层；在该包括有空腔的薄膜待除层的顶上形成一致动机构的阵列，各致动机构包括一第一薄膜电极、一薄膜电致位移元件、一第二薄膜电极及一弹性元件；及去除该薄膜待除层，从而形成该薄膜致动反射镜阵列。