发明名称 Electron microscope, electron microscope specimen actuator and method for observing microscopic image
摘要
申请公布号 EP0457317(B1) 申请公布日期 1997.11.05
申请号 EP19910107935 申请日期 1991.05.16
申请人 HITACHI, LTD. 发明人 YAJIMA, YUSUKE;ICHIKAWA, MASAKAZU;ICHIHASHI, MIKIO;SUZUKI, RYO;TAKESHITA, MASATOSHI
分类号 H01J37/20;H01J37/26;(IPC1-7):H01J37/20 主分类号 H01J37/20
代理机构 代理人
主权项
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