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发明名称
Electron microscope, electron microscope specimen actuator and method for observing microscopic image
摘要
申请公布号
EP0457317(B1)
申请公布日期
1997.11.05
申请号
EP19910107935
申请日期
1991.05.16
申请人
HITACHI, LTD.
发明人
YAJIMA, YUSUKE;ICHIKAWA, MASAKAZU;ICHIHASHI, MIKIO;SUZUKI, RYO;TAKESHITA, MASATOSHI
分类号
H01J37/20;H01J37/26;(IPC1-7):H01J37/20
主分类号
H01J37/20
代理机构
代理人
主权项
地址
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