| 发明名称 |
Apparatus and method for optical inspection of articles |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP0610945(B1) |
申请公布日期 |
1997.11.05 |
| 申请号 |
EP19940102147 |
申请日期 |
1994.02.11 |
| 申请人 |
ORBOTECH LTD |
发明人 |
KATZIR, YIGAL;FINAROV, MOSHE |
| 分类号 |
G02B21/06;G01N21/88;G02B21/00;G02B27/28;(IPC1-7):G01N21/21;G01B11/06;G02B21/14 |
主分类号 |
G02B21/06 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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