| 发明名称 |
MANUFACTURE OF MULTIPLE SEMICONDUCTOR CRYSTAL AND SUBSTRATE HOLDER THEREFOR |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH09289172(A) |
申请公布日期 |
1997.11.04 |
| 申请号 |
JP19960099996 |
申请日期 |
1996.04.22 |
| 申请人 |
FUJITSU LTD |
发明人 |
ITO MICHIHARU;GOTO JUNJIRO |
| 分类号 |
C30B29/48;H01L21/208;H01L31/0264;(IPC1-7):H01L21/208;H01L31/026 |
主分类号 |
C30B29/48 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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