| 发明名称 |
FORMATION METHOD OF ISOLATION FILM |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH09289206(A) |
申请公布日期 |
1997.11.04 |
| 申请号 |
JP19960122177 |
申请日期 |
1996.04.19 |
| 申请人 |
SONY CORP |
发明人 |
KAMEOKA KATSUYA;SASAKI NAOTO;MIYANAGA TAKASHI |
| 分类号 |
H01L21/768;H01L21/316;H01L23/522;(IPC1-7):H01L21/316 |
主分类号 |
H01L21/768 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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