| 发明名称 |
CATHODE SUPPLY ION SOURCE DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH09288980(A) |
申请公布日期 |
1997.11.04 |
| 申请号 |
JP19960122642 |
申请日期 |
1996.04.19 |
| 申请人 |
NATL INST FOR RES IN INORG MATER |
发明人 |
TANAKA KOJI;HATANO TOICHI |
| 分类号 |
H01J27/08;H01J37/08;(IPC1-7):H01J27/08 |
主分类号 |
H01J27/08 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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