| 发明名称 |
SEMICONDUCTOR MANUFACTURING EQUIPMENT |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH09289180(A) |
申请公布日期 |
1997.11.04 |
| 申请号 |
JP19960099796 |
申请日期 |
1996.04.22 |
| 申请人 |
MATSUSHITA ELECTRON CORP |
发明人 |
KOBAYASHI YUJI;KITAZONO TOSHIRO |
| 分类号 |
B28D5/00;H01L21/301;(IPC1-7):H01L21/301 |
主分类号 |
B28D5/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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