发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND MANUFACTURING METHOD THEREOF
摘要
申请公布号 JPH09289311(A) 申请公布日期 1997.11.04
申请号 JP19960100167 申请日期 1996.04.22
申请人 TOYOTA MOTOR CORP 发明人 SEKI AKINORI
分类号 H01L21/66;H01L21/203;H01L21/338;H01L29/778;H01L29/812;(IPC1-7):H01L29/778 主分类号 H01L21/66
代理机构 代理人
主权项
地址