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发明名称
SEMICONDUCTOR DEVICE MANUFACTURING METHOD
摘要
申请公布号
JPH09289315(A)
申请公布日期
1997.11.04
申请号
JP19960100282
申请日期
1996.04.22
申请人
SONY CORP
发明人
MATSUMOTO KOICHI
分类号
H01L21/336;H01L21/265;H01L29/78;(IPC1-7):H01L29/78
主分类号
H01L21/336
代理机构
代理人
主权项
地址
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