| 发明名称 |
OPTICAL INSPECTION EQUIPMENT |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH09281108(A) |
申请公布日期 |
1997.10.31 |
| 申请号 |
JP19960085190 |
申请日期 |
1996.04.08 |
| 申请人 |
NIPPON DPC CORP |
发明人 |
ONO TETSUYA;KURODA TAKASHI;KAWAMURA MASAHIDE |
| 分类号 |
G01N21/64;G01N33/543;G02B21/00;(IPC1-7):G01N33/543 |
主分类号 |
G01N21/64 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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