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发明名称 QUANTITY OF LIGHT MEASURING APPARATUS AND ALIGNER
摘要
申请公布号 JPH09280949(A) 申请公布日期 1997.10.31
申请号 JP19960114215 申请日期 1996.04.11
申请人 NIKON CORP 发明人 MAZAKI KAZUO
分类号 G01J1/44;G03F7/20;H01L21/027;(IPC1-7):G01J1/44 主分类号 G01J1/44
代理机构 代理人
主权项
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