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发明名称 DEVICE AND METHOD FOR WAVE FRONT DEFORMATION MEASUREMENT
摘要
申请公布号 JPH09280841(A) 申请公布日期 1997.10.31
申请号 JP19960092669 申请日期 1996.04.15
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 SASAKI AKI
分类号 G01B11/24;(IPC1-7):G01B11/24 主分类号 G01B11/24
代理机构 代理人
主权项
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