| 发明名称 |
INTEGRATED CAPACITY MEASUREMENT DEVICE FOR NANOMETRIC DISTANCES |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
SI9600141(A) |
申请公布日期 |
1997.10.31 |
| 申请号 |
SI19960000141 |
申请日期 |
1996.04.30 |
| 申请人 |
FAKULTETA ZA ELEKTRONIKO |
发明人 |
KUNC VINKO;TRONTELJ JANEZ |
| 分类号 |
G01B7/02;G01D5/241;G01P15/13;(IPC1-7):G01B7/00 |
主分类号 |
G01B7/02 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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