发明名称 2 STEP-PROJECTION BUMP OF SEMICONDUCTOR ELEMENT AND FORMATION THEREOF
摘要
申请公布号 JPH09283526(A) 申请公布日期 1997.10.31
申请号 JP19960095774 申请日期 1996.04.18
申请人 MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD 发明人 TSUKAHARA NORITO
分类号 H01L21/321;H01L21/60;H01L23/485;(IPC1-7):H01L21/321 主分类号 H01L21/321
代理机构 代理人
主权项
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