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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH09283748(A) 申请公布日期 1997.10.31
申请号 JP19960086175 申请日期 1996.04.09
申请人 MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD 发明人 MORITA KIYOYUKI;MORIMOTO TADASHI;ARAKI SEI;YUKI KOICHIRO
分类号 H01L29/78;H01L21/306;H01L21/336;(IPC1-7):H01L29/78 主分类号 H01L29/78
代理机构 代理人
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