| 发明名称 |
METHOD AND APPARATUS FOR SURFACE INSPECTION OF DISK |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPH09281054(A) |
申请公布日期 |
1997.10.31 |
| 申请号 |
JP19960089696 |
申请日期 |
1996.04.11 |
| 申请人 |
MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD |
发明人 |
SHIMONO TAKESHI;NOMURA TAKESHI |
| 分类号 |
G01N21/88;G01M11/00;G01N21/94;G01N21/95;(IPC1-7):G01N21/88 |
主分类号 |
G01N21/88 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
