发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE MANUFACTURING METHOD
摘要
申请公布号 JPH09283537(A) 申请公布日期 1997.10.31
申请号 JP19960096347 申请日期 1996.04.18
申请人 NEC KANSAI LTD 发明人 KIRIMURA KENJI
分类号 H01L29/41;H01L21/027;H01L21/338;H01L29/47;H01L29/812;H01L29/872;(IPC1-7):H01L21/338 主分类号 H01L29/41
代理机构 代理人
主权项
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