| 发明名称 |
VAPOR PHASE GROWTH SYSTEM |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH09283450(A) |
申请公布日期 |
1997.10.31 |
| 申请号 |
JP19960092574 |
申请日期 |
1996.04.15 |
| 申请人 |
TOSHIBA MACH CO LTD |
发明人 |
MIYANOMAE YOSHIHIRO;KASHIWAGI NOBUO |
| 分类号 |
C30B25/08;C23C16/08;C23C16/44;C23C16/455;H01L21/205;(IPC1-7):H01L21/205 |
主分类号 |
C30B25/08 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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