发明名称 ULTRAVIOLET TREATER
摘要
申请公布号 JPH09283501(A) 申请公布日期 1997.10.31
申请号 JP19960118335 申请日期 1996.04.15
申请人 JAPAN STORAGE BATTERY CO LTD 发明人 SAKAMOTO HIROMI;HOSOYA KOJI
分类号 H01L21/302;H01L21/027;H01L21/304;H01L21/3065;(IPC1-7):H01L21/306 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
主权项
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