发明名称 STRUCTURE OF ISOLATION FILM OF SEMICONDUCTOR ELEMENT AND FORMATION OF THE FILM
摘要
申请公布号 JPH09283615(A) 申请公布日期 1997.10.31
申请号 JP19960337696 申请日期 1996.12.04
申请人 L JII SEMICON CO LTD 发明人 ZON MUN CHIE
分类号 H01L21/314;H01L21/76;H01L21/762;(IPC1-7):H01L21/76 主分类号 H01L21/314
代理机构 代理人
主权项
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