发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR PRESSURE SENSOR
摘要
申请公布号 JPH09280972(A) 申请公布日期 1997.10.31
申请号 JP19960091438 申请日期 1996.04.12
申请人 DENSO CORP 发明人 YOKOYAMA KENICHI
分类号 G01L1/18;G01L9/04;H01L29/84;(IPC1-7):G01L1/18 主分类号 G01L1/18
代理机构 代理人
主权项
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