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发明名称 Verbundswafer und Verfahren zu dessen Herstellung
摘要
申请公布号 DE69126076(T2) 申请公布日期 1997.10.30
申请号 DE1991626076T 申请日期 1991.09.02
申请人 SHIN-ETSU ENGINEERING CO., LTD., TOKIO/TOKYO, JP 发明人 OGINO, NOBUYOSHI, MUSASHINO-SHI, TOKYO, JP
分类号 H01L21/02;H01L21/18;H01L21/20;H01L21/322;H01L21/762;H01L27/12;(IPC1-7):H01L21/20;H01L21/76 主分类号 H01L21/02
代理机构 代理人
主权项
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