发明名称 Verfahren zur Herstellung von BiMOS-Schaltungen mit hoher Leistung
摘要
申请公布号 DE69030225(T2) 申请公布日期 1997.10.30
申请号 DE1990630225T 申请日期 1990.09.07
申请人 NATIONAL SEMICONDUCTOR CORP., SANTA CLARA, CALIF., US 发明人 LAGE, CRAIG S., PUYALLUP, WASHINGTON 98372, US;SMALL, JAMES E., PUYALLUP, WASHINGTON 98374, US;BASTANI, BAMDAD, DANVILLE, CA 94526, US
分类号 H01L21/02;H01L21/033;H01L21/74;H01L21/8222;H01L21/8249;H01L27/06;H01L27/10;(IPC1-7):H01L21/82;H01L21/320 主分类号 H01L21/02
代理机构 代理人
主权项
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