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发明名称 Verfahren zur Herstellung von Metall-Oxid und so erhaltenes Metal-Oxid
摘要
申请公布号 DE69312199(T2) 申请公布日期 1997.10.30
申请号 DE19936012199T 申请日期 1993.09.28
申请人 CANON K.K., TOKIO/TOKYO, JP 发明人 KANEKO, NORIO, C/O CANON KABUSHIKI KAISHA, OHTA-KU, TOKYO, JP;KOBAYASHI, TAMAKI, C/O CANON KABUSHIKI KAISHA, OHTA-KU, TOKYO, JP
分类号 C01G3/00;H01L39/24;(IPC1-7):C01G3/00;H01L39/12 主分类号 C01G3/00
代理机构 代理人
主权项
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