| 摘要 |
<p>Bei einer Vorrichtung zum Behandeln von Substraten (5) in einem Fluid-Behälter (1) ergibt sich ein besonders gleichmäßiges, laminares Strömungsverhalten über den gesamten Behälter-Bereich auch bei schnellem Einlassen eines Fluids mit hoher Strömungsgeschwindigkeit durch ein Düsensystem mit mehreren Düsen (7) zum Einleiten eines Fluids.</p> |
