| 摘要 |
<p>Zur Charakterisierung eines Messobjektes (3), beispielsweise zur Messung der Dicke (d7) einer von einem Substrat (4) getragenen Schicht (7), wird eine Ultraschallwelle (8.1) von einem Messgerät (1) ausgesandt. An Grenzflächen (5, 10) des Messobjektes (3) reflektierte Echowellen (8.2, 8.5) werden vom Messgerät (1) detektiert, das Messignal wird digitalisiert und im Zeitbereich einer Entfaltungsanalyse unterworfen. Die Entfaltungsanalyse verwendet einen durch Orthogonalisierung und implementierte Suchstrategie recheneffizienten Algorithmus. Die Charakteristiken, beispielsweise die Dicken, des Messobjektes werden aus Laufzeitdifferenzen der Echowellen (8.2, 8.5) ermittelt.</p> |
