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发明名称
Semiconductor substrate and method of manufacturing the same
摘要
申请公布号
EP0791957(A3)
申请公布日期
1997.10.29
申请号
EP19970102592
申请日期
1997.02.18
申请人
NEC CORPORATION
发明人
IWASAKI, HIROYUKI
分类号
H01L21/20;H01L21/322;H01L21/74;(IPC1-7):H01L21/74
主分类号
H01L21/20
代理机构
代理人
主权项
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