发明名称 Semiconductor substrate and method of manufacturing the same
摘要
申请公布号 EP0791957(A3) 申请公布日期 1997.10.29
申请号 EP19970102592 申请日期 1997.02.18
申请人 NEC CORPORATION 发明人 IWASAKI, HIROYUKI
分类号 H01L21/20;H01L21/322;H01L21/74;(IPC1-7):H01L21/74 主分类号 H01L21/20
代理机构 代理人
主权项
地址