| 发明名称 |
ALAT UNTUK MENGOLAH LAPISAN DASAR KONYEINER FLUIDA |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
ID16694(A) |
申请公布日期 |
1997.10.30 |
| 申请号 |
ID19970001344 |
申请日期 |
1997.04.22 |
| 申请人 |
STEAG MICROTECH GMBH |
发明人 |
MARTIN WEBER;DR. JOHN OSHINOWO |
| 分类号 |
B08B3/02;B01J19/26;B08B3/10;H01L21/00;H01L21/304;H01L21/306;(IPC1-7):B05B15/00 |
主分类号 |
B08B3/02 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
