| 发明名称 |
Light ozone asher,light ashing method,and manufacturing method of semiconductor device |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
GB2287419(B) |
申请公布日期 |
1997.10.29 |
| 申请号 |
GB19950003441 |
申请日期 |
1995.02.21 |
| 申请人 |
* MITSUBISHI DENKI KABUSHIKI KAISHA |
发明人 |
YOSHITO * SEIWA;TOSHIAKI * KITANO;YASUTAKA * KOHNO |
| 分类号 |
G03F7/42;C01B13/00;C01B13/02;H01L21/027;H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/311;(IPC1-7):B01J19/12;B01J15/00;B01J19/00;H01L21/00 |
主分类号 |
G03F7/42 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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