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发明名称 Semiconductor cavity filling process
摘要
申请公布号 EP0731503(A3) 申请公布日期 1997.10.29
申请号 EP19950119559 申请日期 1995.12.12
申请人 TEXAS INSTRUMENTS INCORPORATED 发明人 DIXIT, GIRISH A.;HAVEMANN, ROBERT H.
分类号 H01L21/28;H01L21/768;(IPC1-7):H01L21/768 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
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