分相式高分辨率容栅位移传感器

摘要

本发明是一种使用在数显式测量位移量仪器中的传感器，它在陶瓷或玻璃片上用多层布线法做成栅条板，但副栅栅条在连续的几个主栅节距上作分相排列，每个主栅节距错位排列，这样缩小了多相栅条的分布空间，用此传感器安装在百分表或千分表、卡尺上，能提高1-2个精度等级，且制作成本低，稳定性好。

主权项

1.一种分相式高分辨率容栅位移传感器，包括在陶瓷或玻璃片上用多层布线法制成的栅条板，其特征在于：副栅栅条在连续的几个主栅节距作分相排列，每个主栅节距错位排列，栅条间用地线分隔，从栅条接出的连线通过金属引脚与电路相通。