| 发明名称 |
Process for the manufacture of semiconductor components comprising micromechanical structures |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
GB2312554(A) |
申请公布日期 |
1997.10.29 |
| 申请号 |
GB19970008501 |
申请日期 |
1997.04.25 |
| 申请人 |
* ROBERT BOSCH GMBH |
发明人 |
FRANZ * LAERMER;ANDREA * SCHILP |
| 分类号 |
B81C3/00;G01P15/08;G01P15/125;(IPC1-7):H01L21/34 |
主分类号 |
B81C3/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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