| 发明名称 |
SUBSTRATE TREATING DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH09276773(A) |
申请公布日期 |
1997.10.28 |
| 申请号 |
JP19960114132 |
申请日期 |
1996.04.10 |
| 申请人 |
DAINIPPON SCREEN MFG CO LTD |
发明人 |
YOSHITANI MITSUAKI |
| 分类号 |
B05C5/02;B05C13/02;H01L21/027;H01L21/304;(IPC1-7):B05C5/02 |
主分类号 |
B05C5/02 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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