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发明名称 PRODUCTION OF SINGLE CRYSTAL AND APPARATUS THEREFOR
摘要
申请公布号 JPH09278582(A) 申请公布日期 1997.10.28
申请号 JP19960096996 申请日期 1996.04.18
申请人 SHOWA DENKO KK 发明人 SATO KOJI;OOTA TERUHITO
分类号 C30B15/00;C30B15/20;C30B27/02;C30B29/40;H01L21/208;(IPC1-7):C30B15/00 主分类号 C30B15/00
代理机构 代理人
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