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发明名称
APPARATUS FOR PRODUCING SINGLE CRYSTAL AND PRODUCTION OF SINGLE CRYSTAL
摘要
申请公布号
JPH09278581(A)
申请公布日期
1997.10.28
申请号
JP19960084075
申请日期
1996.04.05
申请人
SUMITOMO SITIX CORP
发明人
NISHIMOTO MANABU
分类号
C30B15/00;C30B29/06;H01L21/208;(IPC1-7):C30B15/00
主分类号
C30B15/00
代理机构
代理人
主权项
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