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发明名称 COATING SOLUTION FEEDER
摘要
申请公布号 JPH09276772(A) 申请公布日期 1997.10.28
申请号 JP19960097167 申请日期 1996.04.18
申请人 DAINIPPON SCREEN MFG CO LTD 发明人 IZEKI IZURU;TAKAHASHI SATORU
分类号 G03F7/16;B05C5/02;B05C11/02;B05C11/10;H01L21/027;H01L21/31;(IPC1-7):B05C5/02 主分类号 G03F7/16
代理机构 代理人
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