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发明名称
摘要
申请公布号
JP2669249(B2)
申请公布日期
1997.10.27
申请号
JP19920071573
申请日期
1992.03.27
申请人
发明人
分类号
H01L21/205;H01L21/302;H01L21/304;H01L21/3065;H05H1/46;(IPC1-7):H01L21/205;H01L21/306
主分类号
H01L21/205
代理机构
代理人
主权项
地址
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