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发明名称
摘要
申请公布号 JP2667977(B2) 申请公布日期 1997.10.27
申请号 JP19870000611 申请日期 1987.01.07
申请人 发明人
分类号 H01L21/20;G01J1/02;H01L21/268;H01L21/66;(IPC1-7):H01L21/20 主分类号 H01L21/20
代理机构 代理人
主权项
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