发明名称 Herstellungsverfahren für eine selbstjustierte diffundierte Verbindungsstruktur
摘要
申请公布号 DE69030409(T2) 申请公布日期 1997.10.23
申请号 DE19906030409T 申请日期 1990.07.16
申请人 MOTOROLA, INC., SCHAUMBURG, ILL., US 发明人 ZDEBEL, PETER J., MESA, ARIZONA 85203, US;VASQUEZ, BARBARA, CHANDLER, ARIZONA 85225, US
分类号 H01L29/73;H01L21/033;H01L21/225;H01L21/28;H01L21/285;H01L21/331;H01L21/336;H01L29/732;H01L29/78;(IPC1-7):H01L21/225 主分类号 H01L29/73
代理机构 代理人
主权项
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