| 摘要 |
<p>Bei einer Anlage zur Naßbehandlung von Substraten (3) in einem ein Behandlungsfluid (2) enthaltenden Behälter (1), wobei die Substrate (3) in einem Substratträger (5) in den Behälter (1) eingesetzt werden, ergibt sich eine optimale Ausrichtung und Zentrierung der Substrate (3) im Behälter (1) beim Herausfahren aus dem Behälter (1) durch eine Substrat-Aufnahmevorrichtung (4) im Behälter (1).</p> |
