EINRICHTUNG ZUM TEILCHENNACHWEIS MIT SPIEGELNDER ZEILE-ZU-FLECK UMSETZENDER SAMMELOPTIK,申请号DE19936014059-传众专利搜索

发明名称	EINRICHTUNG ZUM TEILCHENNACHWEIS MIT SPIEGELNDER ZEILE-ZU-FLECK UMSETZENDER SAMMELOPTIK
摘要
申请公布号	DE69314059(D1)	申请公布日期	1997.10.23
申请号	DE19936014059	申请日期	1993.12.21
申请人	ADE OPTICAL SYSTEMS CORP., CHARLOTTE, N.C., US	发明人	MORAN, KEVIN, E., BELMONT, NC 28012, US
分类号	G01N21/88;G01B11/30;G01N21/94;G01N21/956;H01L21/66;(IPC1-7):G01N21/88	主分类号	G01N21/88
代理机构		代理人
主权项
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