发明名称 Verfahren zur Herstellung eines Halbleiterbauelementes mit einer isolierten Gitterstruktur
摘要
申请公布号 DE3855861(T2) 申请公布日期 1997.10.23
申请号 DE19883855861T 申请日期 1988.09.28
申请人 PHILIPS ELECTRONICS N.V., EINDHOVEN, NL 发明人 CHEN, TEH-YI JAMES, NL-5656 AA EINDHOVEN, NL
分类号 H01L21/033;H01L21/265;H01L21/266;H01L21/28;H01L21/321;H01L21/336;H01L29/417;H01L29/78;(IPC1-7):H01L21/00 主分类号 H01L21/033
代理机构 代理人
主权项
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