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发明名称 Planarisierende Ablagerung aus Silsesquioxan-Copolymer
摘要
申请公布号 DE69031460(D1) 申请公布日期 1997.10.23
申请号 DE19906031460 申请日期 1990.10.05
申请人 INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORP., ARMONK, N.Y., US 发明人 LINDE, HAROLD G., RICHMOND, VERMONT 05477, US;PREVITI-KELLY, ROSEMARY A., RICHMOND, VERMONT 05477, US
分类号 C09D183/08;C09D183/00;H01L21/312;(IPC1-7):H01L21/312 主分类号 C09D183/08
代理机构 代理人
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