| 摘要 |
<p>Die Erfindung bezieht sich auf eine Vorrichtung zur Kathodenzerstäubung für die Herstellung von Schichten auf einem Substrat (27) mittels einer in einer Vakuumkammer einbringbaren Zerstäubungskathode (2), die mit Bezug auf die Mittelachse (44) der Zerstäubungskathode (2) rotationssymmetrisch ausgebildet ist und deren Oberfläche (41) mit Bezug auf die Targetrückseite (40) zumindest teilweise geneigt verläuft. Eine mit Bezug auf die Targetrückseite (74) schräg verlaufende Targetoberfläche (41) oder zumindest ein Teil dieser schließt mit der Targetrückseite (74) einen Winkel ein und die Targetoberfläche (41) liegt zwischen weiteren Targetoberflächen (76, 78), die mit der schräg verlaufenden Targetoberfläche (41) ebenfalls einen Winkel Σ, ν, α einschließen.</p> |
