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发明名称 Plasma-Bearbeitungsgerät
摘要
申请公布号 DE69030744(T2) 申请公布日期 1997.10.23
申请号 DE19906030744T 申请日期 1990.01.31
申请人 HITACHI, LTD., TOKIO/TOKYO, JP 发明人 OHTSUBO, TOHRU, FUJISAWA-SHI KANAGAWA-KEN, JP;TOKUDA, MITSUO, TACHIKAWA-SHI, TOKYO-TO, JP;YAMAGUCHI, YASUHIRO, CHIGASAKI-SHI, KANAGAWA-KEN, JP;SASAKI, ICHIRO, YOKOHAMA-SHI, KANAGAWA-KEN, JP;OHARA, KAZUHIRO, YOKOHAMA-SHI, KANAGAWA-KEN, JP;USUAMI, HIROHISA, 5-19-1 JYOSUIHON-CHO, KODAIRA-SHI, JP;AZUMA, JUNZO, YOKOHAMA-SHI, KANAGAWA-KEN, JP
分类号 C23C16/50;C23C16/511;C23F4/00;H01J37/32;H01L21/205;H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/31;H05H1/46;(IPC1-7):H01J37/32 主分类号 C23C16/50
代理机构 代理人
主权项
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