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发明名称 APPARATUS FOR A THIN FILM MANUFACTURING
摘要
申请公布号 EP0728224(A4) 申请公布日期 1997.10.22
申请号 EP19950931033 申请日期 1995.08.29
申请人 VARIAN ASSOCIATES, INC. 发明人 OH, KYU-WOON;LEE, CHANG-KUN;KIM, MYUNG-KIL
分类号 C23C14/34;C23C14/00;H01J37/34;H01L21/203;(IPC1-7):C23C14/34;C23C14/50 主分类号 C23C14/34
代理机构 代理人
主权项
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