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发明名称
摘要
申请公布号 JP2665973(B2) 申请公布日期 1997.10.22
申请号 JP19890073433 申请日期 1989.03.24
申请人 发明人
分类号 H01L21/302;H01L21/205;H01L21/3065;(IPC1-7):H01L21/306 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
主权项
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